PVA技术中心申请用于沉积原子层和制造菲涅耳波带片的反应器和方法专利,实现基底的多轴倾斜旋转 国家知识产权局信息显示,PVA技术中心有限公司申请一项名为“用于沉积原子层和制造菲涅耳波带片的反应器和方法”的专利,公开号CN121311624A,申请日期为202...