破局泛半导体“缺陷检测”：创锐光谱祭出“杀手锏”

21世纪经济报道记者赵娜报道在半导体产业链中，缺陷检测是一道关键“生命线”。晶圆一旦存在微小缺陷，可能导致芯片失效，进而影响新能源汽车动力系统或5G基站稳定性。长...