国家知识产权局信息显示，福建省金石能源股份有限公司申请一项名为“一种远程与本位双源等离子体辅助化学气相沉积镀膜设备”的专利，公开号CN121428535A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种远程与本位双源等离子体辅助化学气相沉积镀膜设备，通过整合远程等离子体源与本位等离子体源构成双源协同系统，搭配真空反应单元、独立气体供给单元、高精度加热控温单元及真空抽排单元，解决传统PECVD设备等离子体分布不均、高能离子轰击损伤、腔体污染及膜层品质与产能难以兼顾的技术痛点，支持管式或板式两种核心结构，管式结构具备多分区控温、整体密封传动优势，板式结构可灵活扩展单腔或多腔布局，双源等离子体可实现同步、先后或交替工作模式，适配不同工艺需求。在保持高产能、低成本优势的前提下，显著提升膜层均匀性与致密性，降低硅片损伤及腔体污染风险，适用于半导体、光伏等领域的高品质薄膜制备。

天眼查资料显示，福建省金石能源股份有限公司，成立于2016年，位于泉州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本21725.931万人民币。通过天眼查大数据分析，福建省金石能源股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息538条，此外企业还拥有行政许可20个。

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来源：市场资讯